| 浙江华川半导体材料有限公司于2025年7月由中韩企业合资设立(中方占股55%)。中方股东浙江润优新材料科技有限公司成立于2022年,是一家集科研、生产、销售为一体的高端石英原材料及制品深加工高新技术企业,与浙江大学硅及先进半导体材料全国重点实验室建立联合研发中心,由中科院院士、半导体材料学家杨德仁任公司首席科学家,汇聚20余名博士团队,在石英材料提纯工艺、晶体缺陷控制等关键领域取得20余项专利。韩方股东Seong Hyun Technology Co., LTD成立于2015年,总部位于韩国仁川,主营半导体蚀刻工艺设备硅耗材零部件(电极、硅环等)的生产,其中CSR(高端硅环,是研发国产3D-NAND闪存刻蚀设备的关键技术之一)国际市场占有率约65%。 项目总投资2亿元,租用龙芯智慧产业园厂房8000㎡,建设半导体晶圆制造关键耗材的研发中心与产线。核心产品包括硅环、硅电极以及高端栅极环,广泛应用于晶圆制造的刻蚀等核心工艺环节。 其中,曲面电极和高端栅极环产品将有效填补国内该领域的技术与供给空白,突破“卡脖子”环节,对保障我国半导体产业链安全具有重要战略意义。 |
| OneSemicon,全称SEONGHYUNTECHNOLOGYCO.,LTD 成立于2015年,在仁川和京畿道华城设有两个生产基地,主要生产半导体刻蚀设备用硅零部件,包括硅电极、硅环、C型环等产品。 仁川工厂和华城工厂总投资人民币6200万,生产覆盖整个硅零部件的工艺流程。 其中,仁川工厂面积4,050㎡,主要负责研磨、钻孔、造型、端面加工等前道工艺;华城工厂面积3,000㎡,主要负责抛光、蚀刻、清洗等后道工艺。 |
华川-生产产品路线图
华川产线正式启动后,前期先从加工成熟度高的平面电极、CSR及其他硅环等产品开始生产;待2期设备扩建并产线稳定后逐步生产曲面电极、Ground Ring等加工难度高的产品。产线员工熟练度提升后,可根据客户需求,定制生产高端Si零部件。
