刻蚀设备用硅电极产品 价格：元

普通平面电极、曲面电极等
硅电极表面有密集微小通孔，在晶圆制造刻蚀环节，硅电极除了作为附加电压的电极，还作为刻蚀气体进入腔体的通路。
以喷淋头为例，作为刻蚀设备中的核心硅部件采用硅材质，表面布满数百甚至上千个微小孔隙，用于将等离子体均匀分布到硅片表面，精确去除氧化膜，从而完成刻蚀过程。作为重要耗材，喷淋头的使用寿命约为30天，需定期更换。

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