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刻蚀设备用C-ShroudRing 价格:

限制真空室内等离子体的分布范围,通过增加等离子体密度来提高蚀刻速率并改善蚀刻离子的方向性。
产品可分为一片式和二合一式。
二合一式通过维修和重复使用,在使用寿命方面比一片式具有更优秀的竞争力,可帮助客户实现成本创新。
CSR是3D-NAND刻蚀机的核心零部件,尤其在100层以上高端3D NAND加工的刻蚀机必不可少,目前在全球范围内3D-NAND刻蚀机市场被LAM垄断,只有LAM的刻蚀机采用CSR零部件。
• CSR是研发国产3D-NAND刻蚀设备的关键技术之一,国内没有能够稳定供应CSR的厂商
• 三星、海力士的供应商COMA、WORLDEX、SKENPULSE也把自己供给三星/海力士的CSR在OS做OEM
• 在国内给长存供应CSR的供应商是子牛,其货源也是OS
• 2023年末开始,公司开拓包括新加坡美光、日本铠侠、台湾南亚等海外客户,并且在供货模式上从原来的来料加工,逐步转变为成品供应,以此提升公司竞争力

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