刻蚀设备用硅环 价格：元

硅环是支撑硅电极及其他相关零件的承载部件，保证等离子干式刻蚀机腔体的密封性和纯净度，同时对硅晶圆边缘进行保护。支撑硅片的硅环等耗材应用广泛，部分组件的更换周期较短，约为10天左右。
普通硅环和8/12寸电极产品已经实现国产化，但良率不高，毛利普遍较低较低或处于亏损状态。
• 电极中加工难度高的曲面电极在国内尚未有量产公司
• 通过加工设备自动化大幅提高电极加工良率
• 主要生产Gas-hole数量平均900个以上的高端电极产品，而且通过加工设备自动化大幅提高了加工良率

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